薄膜技術(shù)與薄膜材料pdf是一本由田民波所著的相關(guān)技術(shù)參考圖書(shū)，該書(shū)內(nèi)容豐富，講解通俗，且附帶大量圖解，能幫助讀者全面系統(tǒng)地了解薄膜材料與技術(shù)，需要的朋友快來(lái)下載吧！

薄膜技術(shù)與薄膜材料電子版介紹

關(guān)于薄膜及微細(xì)加工技術(shù)的應(yīng)用范圍，從大規(guī)模集成電路、電子元器件、平板顯示器、信息記錄與存儲(chǔ)、MEMS、傳感器、太陽(yáng)能電池，到材料的表面改性等，涉及高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的各個(gè)領(lǐng)域。本書(shū)內(nèi)容包括真空技術(shù)基礎(chǔ)、薄膜制備、微細(xì)加工、薄膜材料及應(yīng)用、薄膜成分與結(jié)構(gòu)分析等5大部分，涉及薄膜技術(shù)與薄膜材料的各個(gè)方面，知識(shí)全面，脈絡(luò)清晰。全書(shū)共17章，文字通俗易懂，并配有大量圖解，有利于對(duì)基本知識(shí)的理解、掌握與運(yùn)用。

薄膜技術(shù)介紹

薄膜技術(shù)(thin film technique)是薄膜制備、測(cè)試等相關(guān)的各種技術(shù)的總稱(chēng)。薄膜技術(shù)涉及的范圍很廣，它包括以物理氣相沉積和化學(xué)氣相沉積為代表的成膜技術(shù)，以離子束刻蝕為代表的微細(xì)加工技術(shù)，成膜、刻蝕過(guò)程的監(jiān)控技術(shù)，薄膜分析、評(píng)價(jià)與檢測(cè)技術(shù)等等?，F(xiàn)在薄膜技術(shù)在電子元器件、集成光學(xué)、電子技術(shù)、紅外技術(shù)、激光技術(shù)以及航天技術(shù)和光學(xué)儀器等各個(gè)領(lǐng)域都得到了廣泛的應(yīng)用，它們不僅成為一間獨(dú)立的應(yīng)用技術(shù)，而且成為材料表面改性和提高某些工藝水平的重要手段

薄膜技術(shù)與薄膜材料目錄

第1章 薄膜與高新技術(shù)

第2章 真空技術(shù)基礎(chǔ)

2.1　真空的基本知識(shí)

2.2　真空的表征

2.3　氣體分子與表面的相互作用

第3章 真空泵與真空規(guī)

3.1　真空泵

3.2　真空測(cè)量?jī)x器——總壓強(qiáng)計(jì)

第4章 真空裝置的實(shí)際問(wèn)題

4.1　排氣的基礎(chǔ)知識(shí)

4.2　材料的放氣

4.3　排氣時(shí)間的估算

4.4　實(shí)用的排氣系統(tǒng)

4.5　檢漏

4.6　大氣溫度與濕度對(duì)裝置的影響

4.7　烘烤用的內(nèi)部加熱器

4.8　化學(xué)活性氣體的排氣

第5章 氣體放電和低溫等離子體

5.1　帶電粒子在電磁場(chǎng)中的運(yùn)動(dòng)

5.2　氣體原子的電離和激發(fā)

5.3　氣體放電發(fā)展過(guò)程

5.4　低溫等離子體概述

5.5　輝光放電

5.6　弧光放電

5.7　高頻放電

5.8　磁控放電

5.9　低壓力、高密度等離子體放電